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> Filtres pour gaz ultrahaute pureté série SCF
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Filtres à gaz Swagelok® très haute pureté série SCF
Le filtre à gaz très haute pureté Swagelok série SCF est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de la norme SEMI E49.8-96. Avec un élément filtrant Membralox® exclusif et un boîtier en acier inoxydable 316L VAR, le filtre très haute pureté série SCF constitue une solution pour de nombreuses applications contraignantes de filtration des gaz.
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Caractéristiques techniques
Pression de service
Pression différentielle
Température
Débit maximal
Matériau du corps
Finition de la surface interne
Élément
• Matériau
• Taux d'élimination
Raccordements d'extrémité
• Type
• Dimension |
Jusqu'à 206 bar (3000 psig)
Jusqu'à 172 bar (2500 psi)
Jusqu'à 200°C (400°F)
2700 L std/min
Acier inoxydable VAR 316L
Électropolissage, Ra de 0,13 µm (5 µpo)
Alumine haute pureté
> 99,9999999 % au-dessus de 0,0003 µm
Raccords à étanchéité de surface VCR®
1/4, 1/2 et 3/4 po |
Pour davantage d'informations
Télécharger le catalogue Filtres à gaz très haute pureté série SCF.
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Autres filtres
Filtres en ligne, en ligne entièrement soudés et en té à usage général
Filtres à gaz coalescents et à particules
 Caractéristiques
- Technologie de filtrage céramique Membralox
- Taux élevé d'élimination des particules
- Perte de particules remarquablement faible
- Caractéristiques supérieures en matière d'assèchement de l'humidité
- Dégazage extrêmement faible
- Compatibilité chimique exceptionnelle
- Valeurs de pression différentielle élevées
- Construction en line, entièrement soudée
Technologie de filtrage céramique Membralox
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| L'élément en céramique est un bloc à canaux multiples ou une structure tubulaire en alumine haute pureté. |
Une image obtenue à l'aide d'un microscope électronique à balayage montre les deux couches de membrane de l'élément filtrant : particules ultrafines et particules fines (de haut en bas). |
L'élément en céramique Membralox est un matériau filtrant multicouche. Le matériau est de l'alumine haute pureté dont la structure poreuse est contrôlée avec précision.
L'élément en céramique Membralox est un bloc à canaux multiples ou une structure tubulaire obtenus par extrusion. Les canaux d'écoulement au sein de la structure sont recouverts de membranes contrôlées avec précision. Les membranes sont ensuite fusionnées par frittage.
Le résultat est un élément filtrant conçu pour une minimisation des pertes de particules et une amélioration des caractéristiques d'écoulement. Le taux d'élimination du filtre est supérieur à 99,9999999 % au-dessus 0,003 µm lors de tests conformes à la norme SEMI F38-0699
L'élément en céramique Membralox offre à la fois une résistance élevée à la température et aux produits chimiques ainsi que des caractéristiques supérieures pour ce qui est du taux d'élimination et du dégazage.
Tests
Chaque filtre de la série SCF subit des tests de fuite réalisés à l'aide d'hélium avec comme critère un taux maximal de fuite de 9 × 10–9 cm3 std/s. La conception des filtres série SCF a été testée à l'hélium avec comme critère un taux de fuite maximal of 2 × 10–10 cm3 std/s.
Nettoyage et conditionnement
Chaque filtre de la série SCF est traité selon les Spécifications très haute pureté (SC-01) de Swagelok.
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Point de vente et centre de services
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