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Vannes à membrane

Fabriquées dans des matériaux divers, nos vannes à membrane aux dimensions et aux configurations très variées peuvent répondre aux besoins des applications haute et très haute pureté.

Les vannes à membrane :

  • Ont une longue durée de vie et garantissent une fermeture efficace
  • Peuvent être équipées d'un actionnement manuel, pneumatique ou d'un verrouillage
  • Sont proposées avec un large choix de dimensions, de matériaux et de configurations

Notre gamme de vannes à membrane :

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Vous cherchez des vannes à membranes très haute pureté pour une application de dépôt par couche atomique ?

Vannes à membrane pour gaz en vrac (série LD)

Acheter des vannes série LD Catalogue des vannes série LD

Avec des coefficients de débit allant jusqu'à 13 et une large variété de matériaux et de configurations, les vannes à membrane de la série LD peuvent être utilisées dans de nombreuses applications d'obturation haute pureté, de distribution de gaz en vrac et d'isolement.

Caractéristiques techniques

Pression de service Jusqu'à 20,6 bar (300 psig)
Température –28° à 148°C (–20° à 300°F)
Coefficient de débit Jusqu'à 13
Matériaux du corps Acier inoxydable moulé CF3M, acier inoxydable 316L forgé ou en barres
Matériau de la membrane Acier inoxydable 316L
Raccordements d'extrémité
Type Raccord pour tube Swagelok®, raccord VCR® raccord à étanchéité de surface, filetage NPT femelle, filetage ISO femelle, extension de tube
Taille 1/4 à 1 po ; 12 à 25 mm

Vannes à membrane (séries DL et DS)

Shop DL and DS SeriesCatalogue des vannes séries DL et DS

Les vannes à membrane des séries DL et DS ont pour caractéristique une enceinte entièrement métallique, sans garniture, pour des applications haute et très haute pureté à des pressions allant jusqu'à 241 bar (3500 psig).

Caractéristiques techniques

Pression de service Jusqu'à 241 bar (3500 psig)
Température –73° à 121°C (–100° à 250°F)
Coefficient de débit Jusqu'à 0,30
Matériau du corps Acier inoxydable 316L
Matériau de la membrane Acier inoxydable 316
Raccordements d'extrémité
Type Raccord pour tube Swagelok, raccord à étanchéité de surface VCR, raccord à joint torique VCO®, tube à souder bout à bout, tube à souder par emboîtement
Taille 1/4, 3/8 et 1/2 po ; 6 et 8 mm

Vannes à membrane en fluoropolymère très haute pureté (série DRP

Acheter des vannes série DRP Catalogue des vannes série DRP

Conforme à la norme SEMI F57-0301 sur les systèmes et équipements de distribution de produits chimiques à très haute pureté, la série DRP contribue à limiter les zones de rétention de fluide et à prolonger la durée de vie de la membrane.

Caractéristiques techniques

Pression nominale Jusqu'à 6,8 bar (100 psig)
Température du fluide 23° à 100°C (73° à 212°F)
Coefficient de débit Jusqu'à 10,2
Matériau du corps, de la membrane PTFE modifié
Raccordements d'extrémité
Type Raccords évasés à filetage fin et Nippon Pillar Super 300® standard ; ISO, NPT, Flowell
Taille 1/4 à 1 1/4 po et 6 à 25 mm
Configuration Vannes d'arrêt 2 ou 3 voies à actionnement pneumatique ou manuel ; modèles à débit réglable avec dispositif de dérivation (bypass)

Vannes à membrane sans ressort, haut débit (série DF)

Acheter des vannes série DFCatalogue des vannes série DF

Avec un coefficient de débit de 0,62 et la possibilité de raccordements d'extrémité haut débit, les vannes à membrane sans ressort de la série DF sont conçues pour de nombreuses applications nécessitant des débits élevés et une très haute pureté.

Caractéristiques techniques

Pression de service Du vide jusqu'à 20,6 bar (300 psig)
Pression d'éclatement 220 bar (3200 psig)
Pression d'actionnement 4,9 à 6,8 bar (70 à 100 psig)
Température –23° à 132°C (–10° à 270°F)td>
Coefficient de débit 0,62
Matériaux du corps Acier inoxydable VAR 316L
Matériau de la membrane Superalliage à base de cobalt
Raccordements d'extrémité
Type Raccord à étanchéité de surface VCR de type H, raccord à étanchéité de surface VCR, tube à souder bout à bout
Taille 1/4, 3/8 1/2 po ; 10 et 12 mm

Vannes à membrane hautes performances, sans ressort (série DP)

Acheter des vannes série DPCatalogue des vannes série DP

Fabriquées en acier 316L VIM-VAR, les vannes à membrane de la série DP sont indiquées pour de nombreuses applications très haute pureté.

Caractéristiques techniques

Pression de service Du vide jusqu'à 210 bar (3045 psig)
Pression d'éclatement Jusqu'à 840 bar (12200 psig)
Pression d'actionnement 4,2 à 8,2 bar (60 à 120 psig)
Température –23° à 150°C (–10° à 300°F)td>
Coefficient de débit 0,20 et 0,27
Matériaux du corps Acier inoxydable 316L VIM-VAR
Matériau de la membrane Superalliage à base de cobalt
Raccordements d'extrémité
Type Raccord pour tube Swagelok, raccords à étanchéité de surface VCR, tube à souder bout à bout, montage modulaire en surface (MSM)
Taille 1/4 po ; 6 mm

Vannes à membrane sans ressort de 1,125 po pour systèmes gaz à montage modulaire (série DE)

Catalogue des vannes série DE

Les vannes à membrane sans ressort de la série DE sont disponibles avec diverses possibilités d'actionnement, qui faciliteront leur intégration dans votre système gaz à montage modulaire 1,125 po avec joints en C ou en W.

Caractéristiques techniques

Pression de service Du vide jusqu'à 8,6 bar (125 psig)
Pression d'éclatement 220 bar (3200 psig)
Pression d'actionnement
Normalement fermée 4,1 à 8,2 bar (60 à 120 psig)
Normalement ouverte et 4,1 à 6,2 bar (60 à 90 psig)
Normalement fermée avec dispositif
manuel de verrouillage intégré
Température –10° à 65°C (14° à 150°F)
Coefficient de débit 0,3
Matériaux du corps Acier inoxydable 316L VIM-VAR
Matériau de la membrane Superalliage à base de cobalt
Raccordements d'extrémité
Type Montage modulaire en surface (MSM) 1,125 po
Configurations 2 orifices et 3 orifices

Vannes à membrane pour immersion à haute température (série DH)

Catalogue des vannes série DH

Les vannes à membrane Swagelok pour immersion à haute température, caractérisées par un actionnement rapide et des coefficients de débit allant jusqu'à 0,60, offrent des performances optimales à 220°C (428°F) dans des process à température élevée, notamment pour les applications de dépôt par couche atomique (ALD) ou d'alimentation en gaz précurseurs. Elles sont proposées avec un actionnement pneumatique ou manuel, et avec un large choix de raccordements d'extrémité de dimensions 1/4 et 3/8 po.

Caractéristiques techniques

Pression de service Du vide jusqu'à 4,8 bar (70 psig)
Pression d'éclatement > 220 bar (3200 psig)
Actuation Pressure 4,1 à 6,2 bar (60 à 90 psig)
Température 70° à 428°F (20° à 220°C)
Coefficient de débit
Raccords VCR® de type H 0,60 à 20°C (70°F)
0,40 à 220°C (428°F)
Raccords VCR et tous les autres raccords 0,30 à 20°C (70°F)
0,21 à 220°C (428°F)
Corps pour montage modulaire en surface 0,25 à 20°C (70°F)
0,21 à 220°C (428°F)
Matériau du corps Acier inoxydable 316L VIM-VAR
Matériau de la membrane Superalliage à base de cobalt
Raccordements d'extrémité
Type Raccords à étanchéité de surface avec joint métallique VCR et VCR de type H, tube à souder bout à bout, montage modulaire en surface (MSM)
Taille 1/4 et 3/8 po
MSM 1,125 et 1,5 po

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Sélection des produits en toute sécurité : Les catalogues doivent être lus en entier afin de garantir une sélection adéquate des produits par le concepteur et l'utilisateur du système. Lors de la sélection des produits, l'intégralité de la conception du système doit être prise en considération pour garantir un fonctionnement fiable et sans incident. La responsabilité de l'utilisation, de la compatibilité des matériaux, du choix de capacités nominales appropriées, d'une installation, d'un fonctionnement et d'une maintenance corrects incombe au concepteur et à l'utilisateur du système.

Attention : Ne pas mélanger/échanger les composants des raccords double bague Swagelok (ou d'autres produits dont la conception n’est soumise à aucune norme industrielle) avec ceux d'autres fabricants.