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Haut débit. Haute température.
Haute performance.

La nouvelle génération de procédés de fabrication des semi-conducteurs commence ici.

Télécharger le catalogue des vannes ALD très haute pureté

La vanne très haute pureté ALD20 de Swagelok

De nouvelles perspectives offertes

semiconductor ultrahigh purity clean room

La vanne ALD20 offre non seulement la fiabilité et l’efficacité que nos clients sont en droit d'attendre d’une vanne très haute pureté Swagelok destinée aux applications de dépôt par couche atomique, mais aussi la possibilité d’atteindre une stabilité de la température et des capacités de débit jusque-là inaccessibles. Elle permet aux fabricants d'expérimenter différents procédés et l’utilisation de précurseurs à faible pression de vapeur saturante pour parvenir aux dépôts uniformes de gaz nécessaires pour développer aujourd'hui les technologies de pointe de demain.

Un débit amélioré. Un encombrement réduit.

La nouvelle vanne très haute pureté ALD20 a été conçue spécialement pour dépasser les limites de la technologie actuelle de dépôt par couche atomique, avec des débits deux à trois fois supérieurs à ceux des vannes ALD utilisées aujourd’hui. Non seulement elle offre aux fabricants de puces semi-conductrices la possibilité d’augmenter leur production et de gagner en efficience, mais elle leur permet de le faire sans devoir apporter des modifications majeures à leurs procédés de fabrication.

  • Avec un coefficient de débit (Cv) de 1,2 pour un encombrement identique (1,5 po) à celui des vannes ALD actuelles, la vanne ALD20 offre des performances accrues sans que le matériel en place ne doive être réorganisé.
  • Une deuxième vanne ALD20 standard, légèrement plus large (1,75 po), a un coefficient de débit encore plus élevé de 1,7, soit le plus élevé actuellement disponible pour une vanne très haute pureté à durée de vie très longue.
  • Des coefficients de débit fixés par le client sont également possibles.

Des performances d’une régularité irréprochable

ald20 ultrahigh purity valve

Certaines caractéristiques essentielles de la vanne ALD20 favorisent un fonctionnement optimal pendant toute la durée de vie de la vanne :

  • Il est possible d’immerger complètement la vanne et l’actionneur dans une unité d’alimentation en gaz à des températures comprises entre 10°C (50°F) et 200°C (392°F), ce qui élimine la nécessité d'isoler l'actionneur pendant le chauffage. L’uniformité des dépôts s’en trouve améliorée, car les gaz à faible pression de vapeur saturante sont maintenus à des températures favorisant un écoulement optimal.
  • Le corps fabriqué en acier inoxydable 316L VIM-VAR ou en alliage 22 offre une résistance accrue à la corrosion face à des fluides de plus en plus agressifs.
  • Un soufflet poli jusqu’à obtenir un Ra de 0,13 µm (5 µpo) favorise une exploitation propre sur une très longue durée, contribuant ainsi à l’intégrité des procédés.
  • Un actionneur pneumatique aux déplacements reproductibles et ultrarapides (<10 ms) garantit un débit régulier et précis répondant aux impératifs de dosage

Caractéristiques techniques

Pression de service Du vide jusqu'à 1,4 bar (20 psig)
Burst Pressure >3200 psig (220 bar)
Actuation Pressure 70 to 90 psig (4.8 to 6.2 bar)
Température 10° à 200°C (50° à 392°F)
Coefficient de débit (Cv) 1,2 (montage modulaire en surface) ou 1,7 (config. droite)
Matériaux du corps Acier inoxydable 316L VIM-VAR ou alliage 22
Matériau à soufflet Alliage 22 (Ra de 0,13 µm [5 µpo])
Raccordements d'extrémité
Type (taille) Raccord VCR® femelle (1/2 po)
Raccord VCR mâle tournant (1/2 po)
Tube à souder bout à bout, 0,50 po de long (1/2 po x 0,049 po)
Joint en C haut débit pour montage modulaire en surface (1,5 po)

Pour plus d'informations sur la manière dont la vanne très haute pureté ALD20 peut vous aider à améliorer la précision et les performances de vos procédés de fabrication de puces semi-conductrices sans dégrader l’uniformité ou la répétabilité, prenez contact avec votre point de vente et centre de services Swagelok.

Sélection des produits en toute sécurité : Les catalogues doivent être lus en entier afin de garantir une sélection adéquate des produits par le concepteur et l'utilisateur du système. Lors de la sélection des produits, l'intégralité de la conception du système doit être prise en considération pour garantir un fonctionnement fiable et sans incident. La responsabilité de l'utilisation, de la compatibilité des matériaux, du choix de capacités nominales appropriées, d'une installation, d'un fonctionnement et d'une maintenance corrects incombe au concepteur et à l'utilisateur du système.

⚠ Avertissement: Les composants qui ne sont pas régis par une norme, comme les raccords Swagelok, ne doivent jamais être mélangés/interchangés avec ceux d’autres fabricants.